1나노미터 이하 서브나노 시대를 열어갈 핵심 기술인 CFET(Complementary FET)의 3D 스택 구조를 알려드리겠습니다. 엔모스와 피모스를 수직으로 쌓아 칩 면적을 절반으로 줄…

첨단 반도체 트랜지스터의 양대 산맥인 핀펫(FinFET)과 GAA의 채널 제어력 및 전력 효율을 비교해 드리겠습니다. 3면 제어의 구조적 한계와 4면 게이트의 누설 전류 원천 차단 효과,…

3나노미터 이하 첨단 반도체의 핵심 소자인 GAA(Gate-All-Around)와 MBCFET 구조를 설명해드리겠습니다. 채널 4면을 360도로 감싸 누설 전류를 원천 차단하는 원리부터 …

반도체 미세 공정의 패러다임을 바꾼 3차원 트랜지스터 FinFET(핀펫)의 구조와 작동 원리를 알려드리겠습니다. 평면형 한계를 극복한 3면 게이트 제어 방식부터 누설 전류 차단, 동작 속…

반도체 미세 공정의 발목을 잡았던 평면형(Planar) MOSFET의 숏채널 효과(SCE)를 알려드리겠습니다. 소스와 드레인 간격 축소에 따른 게이트 제어력 상실부터 문턱 전압 저하, 드…

반도체 증착 및 식각 공정의 핵심인 질량 유량 제어기(MFC)와 진공 펌프 시스템의 상호작용을 설명해드리겠습니다. 정밀 가스 분사 메커니즘부터 터보 분자 펌프와 건식 드라이 펌프의 압력 …

첨단 300밀리미터 반도체 공정의 핵심 웨이퍼 이송 용기인 FOUP의 밀폐 및 오염 제어 구조를 알려드리겠습니다. 전면 도어 메커니즘과 정전기 방지 소재부터 내부 질소(N2) 퍼지 노즐 …